日前，2023年全国第三代半导体大会在深圳隆重开幕，大会汇集全国400余家半导体企业并评选出32家年度最佳新锐企业，聊城真萍电子科技有限公司荣誉入选。
真萍科技是山东旭腾微电子设备有限公司全资子公司，总部位于聊城经开区，是一家专注于热（+30-1600℃）、真空（1-1*10-6torr）、高压(10MPa)等设备的半导体装备行业高新技术企业。公司初创期设备从以单机、自动化程度不高的加热/真空高洁净度的半导体设备为基础，不断向高集成自动化、满足复杂制成工艺的立式炉、真空焊接炉发展，现已成为多家国家级研究中心及集成电路生产首选专业设备供应商。目前公司已取得国家专利39项，获得国家高新技术企业认定，是具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。
2022年，中碳资本公司战略投资真萍科技母公司山东旭腾微电子，加速推进公司产品技术研发进程，助力完善半导体装备产业链拼图。未来中碳资本公司将继续专注于半导体等战新产业，整合国有资本资源，一如既往支持培育更多新兴产业，助力企业成长。（中碳资本公司）